全自動晶圓清洗機

產 品 說 明 特點：1.支持多尺寸晶圓:3\4\5\6\8\12英寸2.設定參數均可調整3.參數設定修改均可通過觸摸屏實現4.客戶模式均可自由更改5.工作盤轉速范圍：0-3000轉/分鐘性能：工作盤馬達 交流感應馬達擺臂馬達 交流伺服馬達干燥方式 旋轉清洗方式 二流體清洗顯示 …